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真空泵無關動詞術語引證


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   1、真空的界說
   真空零碎指低于該鎮區大氣壓的稀簿氣體狀態。
   2、真空度
   在于真空狀態下的氣體稀簿水平,通罕用“真空度高”和“真空度低”來示意。真空度高示意真空度“好”的意思,真空度低示意真空度“差”的意思。
   3、真空度單位
   通罕用托(Torr)為單位,近年國內上取用帕(Pa)作為單位。
   1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
   4、托與帕的轉換
   1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
   5、均勻自在程
   作無規定熱靜止的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的均勻間隔,用符號“λ”示意。
   6、流量
   單位工夫流過肆意截面的氣體量,符號用“Q”示意,單位為帕 升/秒(Pa L/s)或托 升/秒(Torr L/s)。
   7、流導
   示意真空彈道經過氣體的威力。單位為升/秒(L/s),在穩固狀態下,彈道流導等于彈道流量除以彈道兩端壓強差。符號記作“U”。  U=Q/(P2-P1)
   8、壓力或壓強
   氣體分子作用來容器壁的單位面積上的力,用“P”示意。
   9、規范大氣壓
   壓強為每平方厘米101325達因的氣壓,符號:(Atm)。
   10、極限真空
   真空容器經充足抽氣后,穩固在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12時辰煉氣,再經12時辰抽真空,最初一個時辰每隔10秒鐘測量一次,取其10次的均勻值為極限真空值。
   11、抽氣速率
   在定然的壓強和熱度下,單位工夫內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)
   12、熱偶真空計
   利用熱電偶的電勢與加熱元件的熱度無關,元件的熱度又與氣體的熱傳播無關的原理來測量真空度的真空計。
   13、水解真空計(又收熱負極水解計)
   由筒狀收集極,柵網和坐落柵網核心的真絲形成,筒狀收集極在柵網里面。熱負極發射電子水解氣體分子,離子被收集極收集,依據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
   14、復合真空計
   由熱偶真空計與熱負極水解真空計組成,測量規模從大氣~10-5Pa。
   15、冷負極水解計
   陽極筒的兩端有一對負極板,在附加磁場作用,陽極筒內構成潘寧尖端放電產生離子,依據負極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。
   16、電阻真空計
   利用加熱元件的電阻與熱度無關,元件的熱度又與氣體傳播無關的原理,經過電橋通路來測量真空度的真空計。
   17、麥克勞真空計(壓縮式真空計)
   將待測的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,而后比擬開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定理間接算出氣體壓強的一種相對真空計。
   18、B-A規
   這是一種負極與收集極倒置的熱負極水解規。收集極是一根細絲,放在柵網核心,真絲放在柵網里面,因此縮小軟X射線莫須有,蔓延測量上限,可測超高真空。
   19、水環真空泵
   泵的葉輪旋子繚繞而產涼水環。因為旋子偏頗繚繞而使水環與葉片間體積產生周期性改觀而繼續抽氣的機械真空泵。
   20、往返真空泵
   利用鞲鞴的往返靜止而繼續抽氣的機械真空泵。
   21、油封機械真空泵
   用油來維持密封的機械真空泵,可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。
   22、羅茨真空泵
   存在一對同步高速繚繞的鞋底形旋子的機械真空泵,此泵使不得夠共同抽氣,前級需配油封、水環等可直排大氣的真空泵。
   23、渦輪分子真空泵
   有一高速繚繞的葉輪,當氣體分子與高速繚繞的渦輪葉片相碰撞時就被驅向出氣口再由前級泵抽除。
   24、油放散真空泵
   放散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下,氣體分子一直地向蒸流中放散,并被蒸汽帶向泵入口處逐級被壓縮后再由前級泵排除。
   25、高溫真空泵
   利用20K以次的高溫名義凝聚吸附氣體的真空泵。
   26、冷阱(水冷隔板)
   置于真空容器和泵之間,用來吸附氣體或捕集油蒸汽的安裝。
   27、氣鎮閥
   油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔,并裝上調節閥,當翻開閥并調節入器量,旋子轉到某一地位,大氣就經過此孔摻入壓縮室以升高壓縮比,從而使大全體蒸汽不致凝聚而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮閥。
   28、真空冷凍干澀
   真空冷凍干澀,也稱升華干澀。其原理是將資料冷凍,使其含有的水份變成冰碴,而后在真空下使冰升華而達成干澀目標。
   29、真空蒸鍍
   在真空條件中,將資料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。
   30、真空干澀
   利用真空條件下沸點低的特點來干澀物件的步驟。
   31、真空零碎罕用姓名
   (1)主泵:在真空零碎中,用來失掉所須要真空度來滿足一定工藝務求的真空泵,如真空鍍膜機中的油放散泵就是主泵。
   (2)前級泵:用來維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
   (3)粗抽泵:從大氣壓下結束抽氣,并將零碎壓力抽到另一真空泵結束作業的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
   (4)維持泵:在真空零碎中,器量很時辰,使不得無效天時用前級泵。為此配置一種定量較小的輔助泵來維持主泵作業,此泵叫維持泵。如放散泵入口處配一臺中型旋片泵,就是維持泵。
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