渦輪分子泵抽氣零碎的根本操作步驟：
一個(gè)裝有共同粗抽管路的渦輪分子泵抽氣零碎的操作步驟與放散泵抽氣零碎類似。在結(jié)束粗抽先前，高
真空閥和粗抽閥是關(guān)著的，而前級彈道閥是翻開的。
1、率先開放前級閥，啟動(dòng)粗抽泵(兼前級泵)，翻開粗抽閥結(jié)束對真空室繼續(xù)抽氣。在真空室內(nèi)的壓力降
到150~100Pa時(shí)開放粗抽閥，翻開前級彈道閥，
2、再啟動(dòng)渦輪分子泵(需先接通結(jié)冰零碎)。那末分子泵出口處裝有液氮冷阱，則應(yīng)在泵減速到額外轉(zhuǎn)速
后(正常需5~10min)加注液氮。粗抽零碎的配置隨真空室的體積的大小而有所相反。對500L/s或更小的渦
輪分子泵來說，可采納一臺雙級旋片泵；1000L/s之上的渦輪分子泵則采納以電泵為前級泵的羅茨泵機(jī)組
。在壓力為100到150Pa時(shí)開放粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。對某些泵，那樣做會導(dǎo)致菲薄而
滯后的剎時(shí)加速，但這對抽氣并無莫須有。正如放散泵抽氣零碎那么，渦輪分子泵零碎中的最重要的物
質(zhì)是蒸氣，其抽氣工夫?qū)⑹芤旱溱宄樗俚牟倏v。那末不必液氮冷阱，那么某個(gè)零碎抽除蒸氣的進(jìn)度就
會比同樣抽速的無冷阱放散泵略慢一些。在高真空抽氣內(nèi)中的起始階段，泵的很大的一經(jīng)烘烤的內(nèi)名義
會吸附水，而后再在較低的壓力下從新開釋進(jìn)去。這種效應(yīng)在無閥門的零碎中更為顯然，所以它可能比
未裸露在壓力高于150Pa的大氣條件的有閥門的零碎吸附更多的蒸氣。
3、零碎停機(jī)時(shí)，先開放高真空閥，那末有液氮冷阱的話，還要將冷阱加熱。在冷阱達(dá)成失調(diào)熱度后，關(guān)
掉前級彈道閥，再切斷渦輪分子泵馬達(dá)的電源使分子泵的旋子加速。正常來說，到泵旋子徹底停留須要
非常鐘或更長的工夫。在分子泵旋子加速期間，來自前級彈道的碳?xì)鋸?fù)合物和渦輪分子泵的光滑油蒸氣
會迅速地向泵的進(jìn)氣口上方海域放散。為了預(yù)防電泵油蒸氣和渦輪分子泵光滑油蒸氣的返流，在切斷渦
輪分子泵馬達(dá)的電源后，要用一股干澀的反向氣旋對分子泵繼續(xù)放氣。比如，無須在泵旋子進(jìn)度上升到
最大轉(zhuǎn)速的50%左右時(shí)，在泵進(jìn)氣口上方的某處或在旋子組件上部陸續(xù)充入氬氣或氮?dú)猓钡奖脙?nèi)壓力達(dá)
成大氣壓。經(jīng)過從閥門3(見圖1)充入氣體就可適當(dāng)?shù)貙?shí)現(xiàn)這一操作。當(dāng)渦輪分子泵以額外進(jìn)度運(yùn)行時(shí)，
不應(yīng)時(shí)常充入壓力為大氣壓的氣旋。那樣做對軸的壽數(shù)是周折的。以后級彈道閥開放后，即可關(guān)掉電泵
零碎，并用放氣缸對電泵內(nèi)繼續(xù)放氣。停機(jī)后應(yīng)即時(shí)關(guān)掉結(jié)冰水以預(yù)防外部冷凝。在畸形作業(yè)時(shí)，可把
水溫調(diào)節(jié)到略高于露點(diǎn)來肅清泵體內(nèi)部可能構(gòu)成的冷凝物。啟動(dòng)零碎要先接通結(jié)冰水流，翻開前級彈道
閥門，再同聲啟動(dòng)電泵和渦輪分子泵。在泵減速到額外轉(zhuǎn)速(正常為5到10min)后，就可加注液氮冷阱。
爾后就可按上節(jié)所說明的步調(diào)對真空室繼續(xù)抽氣。
4、上面一種所給出的是不必高真空閥門的抽氣零碎的操作要比有閥門的抽氣零碎簡便得多。操作時(shí)：先
翻開結(jié)冰水和前級彈道閥，并同聲啟動(dòng)電泵和渦輪分子泵。如粗抽泵取舍切當(dāng)使真空室的粗抽工夫等于
減速工夫，那么真空零碎就能在沒有泵油蒸氣返流的狀況下把真空室抽到其本底壓力。
5、無閥門零碎在放氣和停機(jī)：
1）率先開放前級彈道閥，等泵轉(zhuǎn)速上升到最大轉(zhuǎn)速的50%時(shí)再在泵的上方充入干澀氣體。當(dāng)零碎充到大
氣壓時(shí)應(yīng)開放放氣缸門，要不會造成真空室過壓。
2）而后按上述說明的步驟關(guān)掉電泵并停掉結(jié)冰水。沒有單設(shè)粗抽管路的渦輪分子泵零碎的操作：先翻開
分子泵結(jié)冰零碎和前級管路閥，并同聲啟動(dòng)前級(粗抽)電泵和渦輪分子泵。那末粗抽泵(前級泵)取舍切
當(dāng)，使真空室的粗抽工夫等于分子泵的減速(啟動(dòng))工夫，則真空零碎就能在沒有泵油蒸汽返流的狀況下
把真空室抽到其本底壓力。
3）該零碎在停機(jī)前，要先開放前級管路閥，而后切斷分子泵電源和開放結(jié)冰水。等分子泵轉(zhuǎn)速上升到額
外作業(yè)轉(zhuǎn)速的一半時(shí)，再在泵的出口處充入干澀氣體，當(dāng)零碎充到大氣壓力后，應(yīng)開放放氣缸門。依據(jù)
須要在前級閥開放后的任何時(shí)機(jī)停掉前級泵零碎。
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