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如何給渦輪分子泵充氣？
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如何給渦輪分子泵充氣？
(1)干什么要充氣？
當渦輪分子泵開放或運行極慢時，泵將不復有剩余大的壓縮比（泵內壓力梯度）來阻止前級側存在的碳氫復合物經過渦輪葉片向真空室繼續返流。這種景象稱作反放散或分子返流。在動態條件下，整個零碎的壓力平衡時，在前級彈道側，油的分壓力通常為10-4～10-6Torr（或13.33mPa～133.3μPa）最初也會波及到泵的出口處。當泵開放時，適當地給泵內充氣是掌握油分子返流，維持真空室內無碳氫復合物的一種無效的措施。當停泵后，碳氫復合物返流很快經過泵進入真空室內，那末零碎仍維持在真空狀態下，碳氫復合物將會粘在骯臟的葉片和真空室的名義上。在隨后再運行該零碎時，將極難抽除粘著的碳氫復合物。另一上面，在渦輪分子泵停留運行時，那末給泵充入干澀氮氣或干澀大氣，則該干澀氣體將給裸露的名義提供一層氣體掩護層，而且在零碎充氣后，返流的碳氫復合物因為與充入的氣體混合起來，從而它的粘著威力很弱，在混合氣體中碳氫復合物所占對比極小，鄙人一次偷空時也很快就能被抽走。
(2)提早充氣：
固然在泵割斷電源后就應給泵充氣已被大家所承受，且很尋常，然而，渦輪分子泵在切斷電源后，泵要匆匆地加速，若提早多少秒或多少秒鐘再充氣會更好一些。在泵加速到它暇時進度的30%～50%期間，此時泵仍能起到抽氣和壓縮作用。能無效地使真空室處在真空狀態下且能預防碳氫復合物的返流。提早充氣也能使閥門有剩余的工夫開放，在時常停電的狀況下，提早充氣是很有用的。為了提早充氣，前級真空務必維持在1～1000μmHg（1×10-3mmHg~1mmHg或133.3mPa～133.3Pa）規模之內，因而在渦輪分子泵與前級泵之間務必有一個真空閥，或者在前級泵外部裝一個掌握閥，該閥應在電源中止時，使渦輪分子泵與前級泵隔來到來。要不，經過前級泵、前級彈道被充氣，并招致了油的凈化。
(3)在何處充氣？
在渦輪分子泵的前級側充氣，能強制使碳氫復合物立即經過渦輪分子泵流入真空室。另一上面，若在渦輪分子泵吸入側充氣，能達成以骯臟氣體遮蓋名義的目標。并使氣旋流向渦輪分子泵（自上而下），能臨時阻止、提早碳氫復合物的返流，也有些渦輪分子泵在壓縮級之間繼續旁邊充氣，它和在吸入側充氣掌握碳氫復合物返流簡直同樣無效。在超高真空零碎中，在壓縮級充氣尤其優惠。所以旁邊充氣不須要價錢低廉的非金屬密封的可烘烤的充氣缸。
(4)怎么充氣？
那末渦輪分子泵置于一個骯臟、干澀的四周條件中，就能夠充室內的大氣。然而充氣出口的地位務必細心取舍。那末充氣出口地位湊近油封式旋片泵的排氣口地位之上，則充入的氣體中會含有油蒸汽勢必會對真空零碎造成凈化，而且那末大氣是濕的，為了縮小當前再抽氣的工夫，此外要充入干澀氮氣或通過干澀器過濾的大氣。另外也不定然總是充入大氣壓力下的氣體，若充入氣體的壓力為多少Torr（多少hpa）的干澀氣體就足以能掌握碳氫復合物的返流。
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